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空分设备是一个集机器、设备、仪控、电控在内的众多设备的大群体，每一个单元设备都存在着安全技术问题，也都有过事故和记录。某环保研究院对有资料记载的300余起制氧机事故案例中筛选出125起有代表性的事故进行了综合性的统计分析，得出结论：空分设备的事故最多发的为空分装置，事故率占33.6%。其它较多发的为氧压机、液氧泵、空压机等，其总和占总事故率的16.8%。
透平氧压机、活塞式氧压机、液氧泵，这些都是直接跟氧接触的高速运转的机械，主要的问题是不能沾油，那怕是极微量的油脂；其次是高速的磨擦，高速的磨擦是无法避免的，但必须遵照章程，不得超速，杜绝有脏物颗粒在这中间，脏物由于剧烈磨擦产生火花，引起大大小小的事故。
空压机的主要问题是轴向窜动和振动，造成密封器烧毁，以至叶轮擦壳，造成叶轮和缸体的粉碎性爆炸。
近年来国内外，特别是国外已经对流体介质浓度超过空气中氧浓度的阀门进行了专门的讨论和研究，少数著名公司甚至制定了相应的规范，提出了该种场合下严禁使用铝制阀门，虽有一定程度上的过火，也有一定程度上的合理性。目前国内已对较高流速下的氧介质，作了控制，将铝阀门更换为不锈钢阀门和铜阀门。
透平氧压机、液氧泵，应该实现全自动的主控室开停车、氧气透平压缩机在安装和平时检修时，要严格按照制造厂家的标准，进行脱脂和检验。
氧压机正常工作时，各级压力、温度不准超过规定值。有异常振动和声音时，则应采取措施，直至停机检查。
经常检查活塞式氧压机油密封圈的密封效果，发现问题及时修复，严防油脂被活塞杆带入气缸。
氧压机着火时，必须紧急停车并同时切断氧气来源，发出报警信号。
空压机运行中发现不正常的声响、气味、振动或发生故障，应立即停车检查。
